GMS氣體監(jiān)測監(jiān)控系統(tǒng)介紹

GMS的主要目的是通過對所有潛在的危險氣體泄漏點(diǎn)的監(jiān)控,在保證人員安全的前提下,盡可能的保證生產(chǎn)連續(xù)并不受干擾的進(jìn)行。

GMS是氣體信息系統(tǒng),主要負(fù)責(zé)收集氣體供應(yīng)設(shè)備氣體供應(yīng)狀態(tài),如管路壓力、閥門狀態(tài)、報警和故障情況等,當(dāng)監(jiān)控區(qū)域出現(xiàn)氣體供應(yīng)設(shè)備異常時,該系統(tǒng)能實(shí)時提供區(qū)域設(shè)備報警提示,讓現(xiàn)場操作人員最快時間發(fā)現(xiàn)問題,同時還可實(shí)現(xiàn)定期自動抄表功能。

系統(tǒng)需求

隨著科學(xué)技術(shù)及智能技術(shù)的發(fā)展,人們對半導(dǎo)體集成電路芯片需求越來越大.集成電路的生產(chǎn)加工由于工藝的需求,需要使用到一定量的特殊氣體,為保證生產(chǎn)線人員的安全及生產(chǎn)過程的穩(wěn)定可靠,半導(dǎo)體廠務(wù)運(yùn)營中心需要對生產(chǎn)工藝中使用到的氣體是否泄漏進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控。

解決方案